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  • 新型中频圆柱旋转阴极
  • 新型加热式气动高真空挡板阀
  • 恒张力恒速度卷绕控制系统
  • 线性离子源
  • 二进制多段布气技术
  • 倾斜式箱体设计
  • 新型插板阀
  • 信息化主动处理
  • 气体控制系统
  • 模块化设计
新型中频圆柱旋转阴极

红黑大战游戏_红黑大战下载自行研发设计、加工的新型中频圆柱旋转阴极,提高靶材操作率,降低出产成本。

新型加热式气动高真空挡板阀

有效防止挡板阀外表面呈现冷凝水现象,提高设备的可靠性并延长使用寿命,使设备安全运行。

恒张力恒速度卷绕控制系统

与传统的速度张力控制比拟布局简单,控制便利,后期维护成本的减少,运行可靠性能不变。

线性离子源

可对镀膜前的基材进行预清洗,提高成膜附着力,工作模式包罗聚焦模式和散焦模式。

二进制多段布气技术

确保工艺氛围均匀性。

倾斜式箱体设计

倾斜式箱体设计实现了基片在装卸过程中无夹具印,解决了大型超薄基片装夹过程中的扭曲问题。

新型插板阀

无水电引入系统的新型插板阀,减少故障发生率,提高出产效率。

信息化主动处理

从工厂现场主动化设备中采集实时运行状况、运行参数、加工信息和质量信息,并传输到监控终端分解成用户所需要的报表、图表和可视化界面形式显示,使出产治理人员能及时监控出产设备的运行状况和能力,合理安排出产及时调度,保障出产设备处于最佳状况,出产顺利、有序、高产、低耗进行。

气体控制系统

通过等离子体发射光谱监测来控制气体流量和电压,控制优化反应溅射的状况,从而获得最佳的沉积速率与膜层质量。

模块化设计

可灵活改变工艺配置,适应各种镀膜要求。

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